Hexachlordisilan
Strukturformel | ||||||||||||||||
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Allgemeines | ||||||||||||||||
Name | Hexachlordisilan | |||||||||||||||
Andere Namen |
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Summenformel | (SiCl3)2 | |||||||||||||||
Kurzbeschreibung | farblose Flüssigkeit[1] | |||||||||||||||
Externe Identifikatoren/Datenbanken | ||||||||||||||||
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Eigenschaften | ||||||||||||||||
Molare Masse | 268,89 g·mol−1 | |||||||||||||||
Aggregatzustand | flüssig[1] | |||||||||||||||
Dichte | 1,562 g·cm−3 (25 °C)[1] | |||||||||||||||
Schmelzpunkt | 2,5 °C[2] | |||||||||||||||
Siedepunkt | 144–145,5 °C[1] | |||||||||||||||
Brechungsindex | 1,475 (20 °C)[1] | |||||||||||||||
Sicherheitshinweise | ||||||||||||||||
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Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa). Brechungsindex: Na-D-Linie, 20 °C |
Hexachlordisilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der chlorierten Silane.
Gewinnung und Darstellung
Hexachlordisilan kann (wie alle Perchlorsilane SinCl2n+2 mit n = 2-6) durch Reaktion von Calciumsilicid mit Chlor bei 230 bis 250 °C gewonnen werden.[2]
Ebenfalls möglich ist die Darstellung durch Reaktion von Siliciumdichlorid oder Silicium mit Chlor.[2]
Eigenschaften
Hexachlordisilan ist eine farblose, an Luft rauchende, hydrolyseempfindliche klare Flüssigkeit.[2]
Verwendung
Ultrahochreines Hexachlordisilan wird in der Halbleiterindustrie für die chemische Gasphasenabscheidung von siliciumhaltigen funktionellen Schichten, bei sehr niedrigen Temperaturen, eingesetzt. Anlagen zur Herstellung stehen zum Beispiel im badischen Rheinfelden.[3]
Einzelnachweise
- ↑ a b c d e f g Datenblatt Hexachlorodisilane, 96% bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 4. Januar 2014 (PDF).
- ↑ a b c d Georg Brauer (Hrsg.), unter Mitarbeit von Marianne Baudler u. a.: Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie. 3., umgearbeitete Auflage. Band I, Ferdinand Enke, Stuttgart 1975, ISBN 3-432-02328-6, S. 669.
- ↑ Spezialchemie: Bau einer Spezialchemie-Anlage für Elektronikchips gestartet - Evonik Industries - Spezialchemie, abgerufen am 5. Januar 2014.