Elektronisuihkulitografia

 Tämän artikkelin tai sen osan kieliasua on pyydetty parannettavaksi.
Voit auttaa Wikipediaa parantamalla artikkelin kieliasua.
Tarkennus: kieli selkeämmäksi
Tämän artikkelin tai sen osan määritelmä puuttuu tai on huonosti laadittu.
Voit auttaa Wikipediaa parantamalla artikkelin määritelmää. Lisää tietoa saattaa olla keskustelusivulla.
Elektronisuihkulitografiassa käytettävää laitteistoa.

Elektronisuihkulitografiassa (Electron beam lithography, EBL) resisti valotetaan elektroneilla joko suorakirjoitus- tai projektiomenetelmällä. Suorakirjoituksessa resistin valotus tapahtuu piste kerrallaan sarjamuodossa, joten prosessi on joustava mutta hidas. Se tarjoaa erittäin hyvän resoluution, joka on parhailla laitteilla noin 20 nm. Käyttötarkoituksia suorakirjoitukselle ovat optisen litografian maskien teko sekä tutkimus-, tuotekehitysprosessit ja piensarjatuotanto. Projektioprosessissa resisti valotetaan pyyhkäisemällä elektronisuihkulla maskin yli rivi kerrallaan, ja se sopii käytettäväksi kun tuotantomäärät ovat liian pieniä optiseen litografiaan. Etuina suorakirjoitukseen nähden ovat nopeampi prosessi ja maskin kuvioiden skaalautuminen kuten optisessa projektiolitografiassa. Viivanleveys on pienimmillään noin 60 nm.

Elektronisuihkulitografiassa käytetään yleensä 2 tai 3 valotuspistettä rinnakkain ja osin päällekkäin varmistamaan kuvion onnistuminen. Elektronisuihkulitografian suurin ongelma on sen hitaus, mikä tekee siitä sopimattoman massatuotantoon. Ongelmana on myös elektronien siroamisesta johtuva valotuskuvion leviäminen resistissä. Kuva esittää elektronien sirontaa resistissä.

Lähteet

Tähän artikkeliin tai sen osaan on merkitty lähteitä, mutta niihin ei viitata.
Älä poista mallinetta ennen kuin viitteet on lisätty. Voit auttaa Wikipediaa lisäämällä artikkelille asianmukaisia viitteitä. Lähteettömät tiedot voidaan kyseenalaistaa tai poistaa.
  • Di Ventra, Massimiliano & Evoy, Stephane & Heflin, James R.: Introduction to nanoscale science and technology. Kluwer Academic Publishers, 2004.
  • Franssila, Sami: Introduction to microfabrication. Wiley, 2004.