光電子顕微鏡

光電子顕微鏡(こうでんしけんびきょう、Photoemission Electron microscopy : PEEM)は放射光を利用した顕微鏡

概要

シンクロトロン放射光を試料に照射して拡大投影する顕微鏡。従来の電子顕微鏡では不可欠だった電子光学系としての照射レンズ系は不要で試料に照射するビームは光かはX線で試料に対して垂直に入射させなければならないと言う制約がないのでビームセパレータは不要で電子光学系は、結像レンズ系のみという簡単な構成になる[1][2]。従来は大掛かりな装置が必要なため、用途は限られていたが、近年では小型化された装置が開発され、適用分野が拡大しつつある。

特徴

  • 特定の元素の画像化が可能
  • X線顕微分光が可能
  • 元素選択的な磁気イメージング
  • 非破壊測定
  • チャージアップを起こしてしまうので絶縁体の判定が困難

用途

脚注

  1. ^ (PDF) 光電子顕微鏡でこんなことができる, http://support.spring8.or.jp/Doc_workshop/PDF_20110225/kotsugi.pdf 
  2. ^ 光電子顕微鏡PEEMとはどんな装置か, https://web.archive.org/web/20150614013428/http://www.geocities.jp/eostsuno/Peem/Peem1.html 

参考文献

  • 市ノ川竹男、「光電子顕微鏡」 『日本結晶学会誌』 1982年 24巻 5号 p.385-389, doi:10.5940/jcrsj.24.385
  • 木下豊彦, 九春山雄一 "光電子顕微鏡" 日本放射光学会 放射光 第13巻 第4号 (2000年): 292-297
  • 木原隆幸, 小野寛太, 奥田太一 ほか、磁気構造観察用放射光光電子顕微鏡 (SR-PEEM) の開発 『日本応用磁気学会誌』 2001年 25巻 4_2号 p.1059-1062, doi:10.3379/jmsjmag.25.1059
  • 小野寛太, 尾嶋正治. "放射光光電子顕微鏡を用いたナノ構造のイメージング." 放射光 18.3 (2005): 176-185.

関連項目

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